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      P系列真空排氣臺技術參數表格
      • 用途及特點
      • 規格參數
        產品應用
         
        用于電真空器件,如磁控管、行波管、回旋管、調速管等真空排氣。

         
        主要結構與工作方式
         
        ●手工裝料
        ●立式,單工位、多工位
        ●主機與控柜一體或分開設置
             型號    
              Mode    
               技術參數  
          Technical Data   
        P431-2 P436-1 P431-1 P432-1
        主極限真空度
        Ultimate Vacuum
        ≤2×10-6Pa 10-6Pa ≤3×10-7Pa ≤3×10-8Pa
        烘箱真空
        Baking Chamber Vacuum
        ≤1×10-1Pa 5 Pa 2 Pa 5 Pa
        烘箱工作空間
        Baking Chamber Dimension
        Ф500×1200 mm Ф700×700 mm Ф460×500 mm Ф200×1200 mm
        真空系統
        Vacuum System
        分子泵系統
        Turbo Pump System
        分子泵系統
        Turbo Pump
         System
        離子泵系統
        Ion Pump System
        冷凝泵系統
        Cryopump System
         
        ******溫度
        Max.Temperature
        650℃ 600℃ 600℃ 600℃
        溫度均勻性(軸向)
        Temperature Uniformity
        ≤±5℃三點測溫
        (3 point measurement)
        ±10℃ ±5℃ ≤±5℃三點測溫
        (3 point measurement)
        抽氣速度
        Pumping Speed
        ≥450 L/S ≥450L/S ≥450L/S ≥450L/S
        加熱功率
        Heating Power
        12 KW 18 KW(10可調,8固定)
        (10 adjustable,8 fixed)
        9 KW 10 KW
        總功率
        Total Power
        15 KW 22 KW 13 KW 15 KW
        加熱方式
        Heating Mode
        外加熱
        Outside Heating
        外加熱
        Outside Heating
        內加熱
        Inside Heating
        內加熱
        Inside Heating


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